微電子所
本所教師專長涵蓋半導體、光電、奈米材料元件的研究、開發新穎高速微波元件、系統與光電科技、VLSI元件、高集積密度積體電路、通訊用光學積體電路、高速及負微分電阻元件、量子元件設計與研製、碳化矽高溫高功率元件研製、奈米元件與材料、有機發光二極體、CMOS深次微米元件及技術、高靈敏度氣體感測器、深次微米CMOS元件之可靠度研究、高功率全光纖式脈衝雷射、高敏度全光纖式檢測系統等。
研究領域
製程及模擬
- 半導體IC製程與製程整合
- ULSI Physics & Technology 半導體製程技術
- 超低介電質材料製程整合
- 高介電質材料製程整合
- IC銅製程
- IC封裝製程與測試
- 無鉛焊錫材料與技術之開發
- 微電子
- 半導體元件物理與模擬分析、數值模擬分析
微波 積體電路及系統
- 微波半導體工程與元件
- 微波元件與積體電路
- 射頻元件製作
- 微波積體電路 與系統設計、研製
鑽石薄膜技術及鑽石化學氣相沉積系統
- 電腦模擬與計算
- 高溫超導體介面及電子
- 電力運用
- 複合半導體的合成
- 高介電值薄膜合成與運用
- 電漿輔助下的微電子材料沈積與蝕刻
- 薄膜鑽石的合成及多元化運
- 奈米鑽石超薄膜的鍍膜與運用
- 奈米炭管及氧化鋅等一維奈米材料的場發射及生化檢測器的研究
光電元件
- 積體光學元件及系統
- 光電半導體積體電路
- 光電子元件與系統
- 光電工程
- 高亮度發光二極體
- 光電元件及封裝技術
- 光電元件及物理
- 白光LED研製
- 半導體雷射與工程
- 光電物理
- 積體光元件設計
- 積體光學主動與被動式元件
化合物半導體 材料與元件
- 半導體工程與元件
- 化合物半導體工程
- 磊晶成長
- 化合物半導體高速微波元件
- 負微分電阻交換元件
- 半導體式高靈敏度氣體感測器
矽基半導體 材料與元件
- 半導體工程與元件
- 微電工程
- 微機電工程
- 磊晶成長 ULSI工程
- 矽鍺 材料與相關元件、量子元件設計與研製
- 碳化矽元件
- 高溫及高功率元件研製
- IC銅製程